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制氧機(jī)的變壓吸附分離技術(shù)被發(fā)明以來，廣泛地應(yīng)用于氣體混合物的分離精制。
首先，1958 年，Skarstorm 申請專利并應(yīng)用此技術(shù)分離空氣。同時，Gerin de Montgareuil 和Domine 也在法國申請專利。兩者的差別是，Skarstorm 循環(huán)在床層吸附飽和后，用部分低壓的輕產(chǎn)品組分沖洗解吸，而Gerin-Domine 循環(huán)采用抽真空的辦法解吸。
1960 年大型變壓吸附法空氣分離的工業(yè)化裝置建成。
1961 年用變壓吸附分離工藝從石腦油中回收高純度的正構(gòu)烷溶劑，并命名為Isosiv 過程，1964年完善了從煤油餾分中回收正構(gòu)烷烴的工藝。
1966 年利用變壓吸附技術(shù)提氫的四塔流程裝置建成，20 世紀(jì)70 年代后采用四塔以上的多塔操作，并向大規(guī)模、大型化發(fā)展。
1970 年又建成分離和回收氧的工業(yè)化裝置，用于環(huán)保工業(yè)污水處理生化的需要。同時被廣泛用于從石腦油中提取正構(gòu)烷烴，再經(jīng)異構(gòu)化，將異構(gòu)化產(chǎn)物加入汽油餾分中，以提高其辛烷的Hysomer過程。
1975 年試制成醫(yī)用富氧濃縮器，1976 年開發(fā)了用碳分子篩變壓吸附制氮的工藝并工業(yè)化，隨后采用5A沸石分子篩抽真空制氮工藝。到1983年德國推出性能優(yōu)良的制氮用碳分子篩。到1979年為止，約有一半的空氣干燥器采用Skarstrom 的變壓吸附工藝。變壓吸附用于空氣或工業(yè)氣體的干燥比變溫吸附更為有效。1980年開發(fā)了快速變壓吸附工藝（又稱為參數(shù)泵變壓吸附）。
從20 世紀(jì)90年代起，由于電能緊張，變壓吸附制氧又在煉鋼等領(lǐng)域占有了一席之地。
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